Malzeme & Yarıiletken için Lazer-Destekli 3D Atom Probu

CAMECA LA-WATAP yüksek performanslı Tomografik (veya 3D) Atom Probu olup malzemelerde kimyasal heterojenliklerin kantitatif atomik skalada 3D elementsel görüntüsünü verir.   

Kilit Özellikleri

• Esnek (IR/görünür/UV) lazet uyarlaması ile atomik-derinlik resolüsyonuna yakın yarı-iletken malzeme analizi 
• Düşük termal iletkenlik malzemelerde dahi mükemmel kütle resolüsyonu .
• Kompozisyon ölçmelerinde daha iyi istatistik için büyük alan analizi ( 100 nm çapa kadar).
• Hızlı elde etme oranı: 1E6 atomu toplamak için ~15 dk gerekli
• Gelişmiş Geçikme Hattı Dedektörü (ADLD) ile en iyi kantitatif sonuçlar  
• Metalurjik uygulamalar için esnek ve hızlı FIM  (Alan İyon Mikroskobu)dedektörü