Malzeme ve Jeobilimler için Elektron Prop Mikro Analizörü

İleri elektron optiğini en modern spektrometre tasarımı ve adanmış yazılımı birleştiren CAMECA SX Five jeokimya, mineraloji, jeokronoloji, fiziki ve nükleer metalurji, malzeme bilimi (çimento, cam, seramik... dahil), biyokimya, mikroelektronikte... yüksek doğrulukta kalitatif ve kantitatif kimyasal mikroanalizi gerçekleştirir.

Optimize  elektron sütunu

SXFive & SXFiveFE W ve LaB6 ile uyumlu elektron tabancalıveya "Field Emission " kaynaklıdır. Işın akımı devamlı regüle edilir, 12 saatte % 0.3 ‘lik stabiliteye erişerek güvenilir uzun zaman kantitatif analiz sağlar. Yüksek gerilim sistemi yüksek atom numaralı elekmentler için 40 kV’a kadar çalışır. Yüksek intensite ışın akımları (birkaç µA) eser element ölçmeleri ve yüksek hızlı X-ray görüntilemede kullanılır.

* Daha yüksek lateral resolüsyon için yeni elektron optiği.

* Hafif elementlerin daha iyi tayin edilebilmesi için optimize vakum sistemi

* Geliştirilmiş güvenilirlik için Anüler Fraday Kafesi

* Optimize iş üretimi için geliştirilmiş otomasyon

En iyi Dalgaboyu Saçılmalı Spektrometreler (WDS)

Dalgaboyu Saçılmalı Spektrometre yüksek resolüsyonlu kantitatif analizde tercih edilen metottur. 5 kadar WDS spektrometre artı bir enerji saçılmalı spektrometre EDS SX 100 mikroprobuna konabilir. Optik enkoderler düz ve polisajlı numuneler için dikey veya kaba numuneler için eğimli spektrometrenin hassas pozisyonlamasına yardımcı olur.  Yüksek sensitiviteli kristaller  sayım oranında hemen hemen 3-misli artış sağlarken pik-arkazemin oranını ve spektral resolüsyonu ve ful spektrometre analiz aralığını muhafaza eder.

Tamamen entegreli  optik mikroskop

CCD kamera kullanarak opak numuneler yansıyan ışıkla görülebilirken ince kesitler nakledilen ışıkla görüntülenir.  Optik görüntünün görme alanı motorize mercekler sayesinde 250 den 1700 µm ‘e devamlı değişebilir. Bir otofokus sistemi herhangi zamanda numune yüzeyinin  doğru odaklanmış pozisyona gelmesini garanti eder.

W/LaB₆ kaynaklı SXFive

SXFive elektron sütunu yüksek gerilim için (30 kV'a kadar) W filamanlı veya daha iyi lateral resolüsyonlu ölçmeler için LaB₆ katodu ile donatılabilir.  Tabanca hücresinde 10^-6 Pa vakum sağlanır. Tasarımı W ve LaB₆ filamanları arasında kolay değişime müsaittir. İyi istatistiksel doğrulukla küçük alanlarda eser elementler (0.01 weight% 'den az konsantrasyonlar) ölçülebilir.

Field Emission kaynaklı SXFiveFE

En yüksek analitik spatiyel resolüsyon gerektiren uygulamalar için geliştirilmiştir:

* güvenilir kantifikasyon için gerekli orta birincil enerjide lateral resolüsyonu iyileştirir,

* eser element uygulamalarında gerekli yüksek akımı muhafaze eder.

150 nm'lik ışın çapı 10 kV, 100 nA'da sağlanarak en yüksek kalitede minör ve eser element analizi sağlanır.

Özel otomasyon ve analiz yazılım paketi

SX 100 en son x-ray igörüntü elde etme, PC otomasyonu ve kullanıcı arabirim teknolojisi ile donanmış olup bütün analitik işlemler azami verimlilik için tamamen otomatikleştirilmiştir.

KULLANIM ALANLARI

Yarı-iletken malzeme karakterizasyonu
Dopant derinlik profili
Jonksiyon derinlik ölçümleri
Kontaminant tayini
Bulk malzemelerde baz impürite seviyeleri

Metalurji
Dane cidar segregantları tayini
Oksidasyon ve korozyon çalışmaları
Eser impürite analizi

Cam
Alkali metal dağılımı

Jeoloji
İzotopik oran ölçümleri
Eser element analizi

Biyoloji
Hücre ve dokularda elementlerin görüntülenmesi

EPMA Numune Tutucu Örnekleri