İleri Yarıiletken Metrolojisinde Ful Wafer Manyetik Sektör SIMS

CAMECA IMS Wf yarıiletken ultra düşük enerji derinlik profilinde karşılaştırmalı performansa sahip ful otomatik iyon mikroprobu. Ultra sığ implant ve ince tabakalarda yüzey kontaminasyonunu gözlenmesinde artan hızlı SIMS analizi ihtiyacını karşılar.  

SC Ultra (Çok düşük Darbe Enerji imkanını birleştiren yüksek kütle resolüsyonu ve yüksek sensitiviteli manyetik sektör SIMS)’dan tasarlanan IMS Wf ful 300 mm wafer görüntüleme ve analiz imkanı sunar.  Wafer  işlenmesi 50 ila 300 mm çaplı waferleri kapsayacak robot ve mekik tarafından gerçekleşir.