Yarıiletken Metrolojisi için Ful Wafer Kuadrupol SIMS Mikroprobu

 SIMS 4600 yarıiletken ultra sığ derinlik profili, Si ‘de eser element ve kompozisyon analizi, yüksek-k, SiGe, optik aparatlarda III-V bileşikleri için karşılaştırmalı performansa sahip ful otomatik iyon mikroprobu...